စီရီယမ်အောက်ဆိုဒ် vs. အလူမီနီယမ်အောက်ဆိုဒ် ඔප දැමී ...: ပြည့်စုံသော နှိုင်းယှဉ် ခွဲခြမ်းစိတ်ဖြာမှု
ဖန်နှင့် မှန်ဘီလူးလုပ်ငန်းများတွင် တိကျစွာ စက်ဖြင့်ပြုလုပ်ခြင်းတွင်၊ ඔප දැමීමීමသည် မျက်နှာပြင်အရည်အသွေး၊ တောက်ပမှုနှင့် ချို့ယွင်းချက်နှုန်းကို ဆုံးဖြတ်ပေးသည့် အဓိကပစ္စည်းတစ်ခုဖြစ်သည်။စီရီယမ်အောက်ဆိုဒ် (CeO₂)နှင့် အလူမီနီယမ်အောက်ဆိုဒ် (Al₂O₃) တို့သည် အသုံးအများဆုံး ඔපත්තරණය ပစ္စည်းနှစ်မျိုးဖြစ်သော်လည်း ပစ္စည်းဖွဲ့စည်းပုံ၊ ඔපතරණයယန္တရား၊ မာကျောမှု၊ ထိရောက်မှုနှင့် နောက်ဆုံးမျက်နှာပြင်အကျိုးသက်ရောက်မှုတို့တွင် သိသိသာသာကွာခြားသည်။ ထို့ကြောင့် ඔපතරණය မှန်ကန်စွာရွေးချယ်ခြင်းသည် လုပ်ငန်းစဉ်ထိရောက်မှုကိုသာမက ပြီးမြောက်ထုတ်ကုန်၏ ထွက်နှုန်းနှင့် စုစုပေါင်းကုန်ကျစရိတ်ကိုလည်း တိုက်ရိုက်အကျိုးသက်ရောက်စေသည်။ ရှားရှားပါးပါးမြေပစ္စည်းတစ်ခုအနေဖြင့် စီရီယမ်အောက်ဆိုဒ်သည် ထူးခြားသော Ce³⁺/Ce⁴⁺ ပြောင်းပြန်လှန်နိုင်သော valence state ရှိသောကြောင့် ဖန်ရှိ silicates များနှင့်ထိတွေ့သောအခါ အနည်းငယ်သော ဓာတုဗေဒဓာတ်ပြုမှုဖြစ်ပေါ်စေသည်။ ඔපතරණයအတွင်း ဖန်မျက်နှာပြင်ပေါ်တွင် အလွန်ပါးလွှာသော ပျော့ပျောင်းသောဓာတ်ပြုမှုအလွှာတစ်ခု ဖြစ်ပေါ်လာပြီး ၎င်းကို ඔපතරණයပြားနှင့် စက်ပိုင်းဆိုင်ရာလှုပ်ရှားမှုတို့၏ ပေါင်းစပ်လုပ်ဆောင်ချက်ဖြင့် ညင်သာစွာဖယ်ရှားပေးသည်။ ဤ “ဓာတု + စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ” ပေါင်းစပ်ဖယ်ရှားခြင်းနည်းလမ်းကို CMP (ဓာတုစက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ඔපතරණයතරණයත්) ဟုလူသိများပြီး ၎င်းသည် စီရီယမ်အောက်ဆိုဒ် ඔපතරණයත්သည် မြန်ဆန်ထိရောက်ပြီး မျက်နှာပြင်ချို့ယွင်းချက် အလွန်နည်းပါးရခြင်း၏ အဓိကအကြောင်းရင်းဖြစ်သည်။ ဆန့်ကျင်ဘက်အနေဖြင့် အလူမီနာသည် ရိုးရာစက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ပွတ်တိုက်ပစ္စည်းတစ်မျိုးဖြစ်ပြီး corundum နှင့် diamond ပြီးလျှင် ဒုတိယနေရာတွင်ရှိသည်။ ඔප දැමීමသည် အမှုန်များ၏ ချွန်ထက်သောအနားများ၊ မာကျောမှုနှင့် ပြင်ပအားပေါ်တွင် အပြည့်အဝမူတည်ပြီး ဓာတုဗေဒအရ ပျော့ပျောင်းစေသောအလွှာမပါဘဲ ပုံမှန်သန့်စင်သော စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ကြိတ်ခွဲခြင်းကို ကိုယ်စားပြုသည်။ ထို့ကြောင့် ဖယ်ရှားခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်သည် ပိုမိုကြမ်းတမ်းပြီး ပိုမိုနက်ရှိုင်းသော အဏုကြည့်မှန်များကို ඔප දැමීමဖြစ်စေပြီး အထူးသဖြင့် ကြည်လင်သောဖန်ကို දැමීමတွင် သိသာထင်ရှားသည်။
ပစ္စည်းမာကျောမှုအရ စီရီယမ်အောက်ဆိုဒ်သည် ဖန်ထည်နှင့်နီးစပ်သော Mohs မာကျောမှု ၆ ခန့်ရှိပြီး ပွင့်လင်းမြင်သာသောပစ္စည်းများနှင့်ထိတွေ့သောအခါ ပိုမိုနူးညံ့စေပြီး နက်ရှိုင်းသောခြစ်ရာများကို ဖယ်ရှားပေးပါသည်။ မာကျောမှု ၉ ရှိသော အလူမီနာသည် သတ္တု၊ ကြွေထည်များနှင့် နီလာ၏ ကနဦးပွတ်တိုက်ခြင်းကဲ့သို့သော မာကျောမှုမြင့်မားသောပစ္စည်းများအတွက် သင့်လျော်ပါသည်။ သို့သော် ဖန်ပေါ်တွင်အသုံးပြုသောအခါ မတ်ဖွတ်အပြီးသတ်၊ ခြစ်ရာများ သို့မဟုတ် အက်ကွဲကြောင်းများပင် မဖြစ်ပေါ်စေဘဲ ပွင့်လင်းမြင်သာမှုလျော့နည်းသွားစေရန် ဖိအားကို လျှော့ချရပါမည်။ အလင်းတန်းအဆင့်မျက်နှာပြင်များအတွက် အလူမီနာသည် စီရီယမ်အောက်ဆိုဒ်ထက် သိသိသာသာ တည်ငြိမ်မှုနည်းပါသည်။ အမှုန်အရွယ်အစားနှင့် ပတ်သက်၍ နှစ်မျိုးလုံးသည် 0.3–3 μm အကွာအဝေးကို ရရှိနိုင်သော်လည်း စီရီယမ်အောက်ဆိုဒ်အမှုန်များသည် ပုံမှန်အားဖြင့် ပိုမိုလုံးဝန်းပြီး အမှုန်အရွယ်အစားဖြန့်ဖြူးမှုကျဉ်းမြောင်းသောကြောင့် ၎င်းတို့ကို ပွတ်တိုက်ခြင်းအတွက် ပိုမိုသင့်လျော်ပါသည်။ အလူမီနာအမှုန်များသည် ပိုမိုထက်မြက်သောအနားသတ်များရှိပြီး အမြန်ဖြတ်တောက်ရန် ပိုမိုသင့်လျော်ပါသည်။ ဆိုင်းထိန်းစနစ်အရ၊စီရီယမ်အောက်ဆိုဒ်မျက်နှာပြင်ပြုပြင်ပြီးနောက်၊ ඔප දැමීමများတွင် အလွန်ကောင်းမွန်စွာ ပျံ့နှံ့နိုင်မှုကို ထိန်းသိမ်းထားပြီး၊ စုပုံခြင်း သို့မဟုတ် အနည်ထိုင်ခြင်း မဖြစ်ပွားဘဲ ရေရှည်စဉ်ဆက်မပြတ် စီမံဆောင်ရွက်ရန်အတွက် အလွန်သင့်လျော်ပါသည်။ အခြားတစ်ဖက်တွင်၊ အလူမီနာသည် သိပ်သည်းဆမြင့်မားပြီး ပိုမိုမြန်ဆန်စွာ အနည်ကျသောကြောင့် စဉ်ဆက်မပြတ် မွှေပေးရန် လိုအပ်သောကြောင့် အလိုအလျောက် ထုတ်လုပ်မှုလိုင်းများအတွက် မသင့်တော်ပါ။
၎င်းတို့၏ ඔප දැමීම ထိရောက်မှုကို နှိုင်းယှဉ်ကြည့်လျှင် စီရီယမ်အောက်ဆိုဒ်သည် ဓာတုဓာတ်ပြုမှုအလွှာရှိနေခြင်းကြောင့် မျက်နှာပြင်အရည်အသွေးကို ပိုမိုကောင်းမွန်စွာ ထိန်းသိမ်းထားစဉ်တွင် ပစ္စည်းဖယ်ရှားမှုနှုန်း (MRR) ပိုမိုမြင့်မားလေ့ရှိပြီး အထူးသဖြင့် ဧရိယာကျယ်သောဖန်၊ မှန်ဘီလူးများနှင့် မိုဘိုင်းဖုန်းကာဗာပြားများကို စဉ်ဆက်မပြတ်လုပ်ဆောင်ရာတွင် တည်ငြိမ်မှုကို ပြသသည်။ အလူမီနာသည် မာကျောမှုမြင့်မားပြီး သီအိုရီအရ ဖယ်ရှားမှုနှုန်းမြန်ဆန်သော်လည်း ပြင်ပအားနှင့် ဖြတ်တောက်ထောင့်ပေါ်တွင် များစွာမူတည်ပြီး လုပ်ငန်းစဉ်ပြတင်းပေါက်ကျဉ်းမြောင်းပြီး အနည်းငယ်မြင့်မားသောဖိအားဖြင့်ပင် ခြစ်ရာများကို ခံနိုင်ရည်ရှိသည်။ ထို့ကြောင့် အမှန်တကယ်အစုလိုက်အပြုံလိုက်ထုတ်လုပ်မှုတွင် စီရီယမ်အောက်ဆိုဒ်ထက် မကြာခဏ တည်ငြိမ်မှုနည်းပြီး စွမ်းဆောင်ရည်နိမ့်ကျစေသည်။ မျက်နှာပြင်အရည်အသွေးကွာခြားချက်သည် ပို၍ပင်သိသာထင်ရှားသည်။စီရီယမ်အောက်ဆိုဒ်Ra < 1 nm၊ မြင့်မားသော ပွင့်လင်းမြင်သာမှုနှင့် မက်တެ့ဒ် အပြီးသတ်မှု မရှိသလောက်နည်းသော အလင်းတန်းအဆင့် မျက်နှာပြင်များကို ရရှိစေနိုင်သောကြောင့် မှန်ဘီလူးများ၊ လေဆာ အလင်းတန်း အစိတ်အပိုင်းများ၊ နီလာရောင် ပြတင်းပေါက်များနှင့် အဆင့်မြင့် မှန်များအတွက် ဦးစားပေး ရွေးချယ်မှု ဖြစ်စေသည်။ အလူမီနာသည် သန့်စင်သော စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ကြိတ်ခွဲမှုကြောင့် မကြာခဏ ခြစ်ရာများ၊ ဖိစီးမှုအလွှာများနှင့် မျက်နှာပြင်အောက် ပျက်စီးမှုများကို ဖြစ်ပေါ်စေပြီး ပွင့်လင်းမြင်သာမှုကို သိသိသာသာ လျော့ကျစေသည်။ မိုဘိုင်းဖုန်း မှန်ကို နောက်ဆုံး ඔප දැමීම၊ ကင်မရာများကို ඔප දැමීමීමနှင့် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကာ အလင်းတန်း ပြတင်းပေါက်များကို ඔප දැමීමကဲ့သို့သော လုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် အလူမီနာသည် မလုံလောက်ဘဲ ကနဦး ကြမ်းတမ်းသော ඔප දැමීමීමအတွက်သာ အသုံးပြုနိုင်သည်။
လုပ်ငန်းစဉ် တွဲဖက်အသုံးပြုနိုင်မှု ရှုထောင့်မှကြည့်လျှင် စီရီယမ်အောက်ဆိုဒ်သည် ပိုမိုလိုက်လျောညီထွေဖြစ်အောင် ပြုလုပ်နိုင်ပြီး pH၊ ඔප දැමීම၊ ဖိအားနှင့် အမြန်နှုန်းကဲ့သို့သော ကန့်သတ်ချက်များကို အာရုံခံနိုင်စွမ်းနည်းပြီး ချိန်ညှိရလွယ်ကူသည်။ အခြားတစ်ဖက်တွင် အလူမီနာသည် ဖိအားနှင့် လည်ပတ်အမြန်နှုန်းကို အာရုံခံနိုင်စွမ်းမြင့်မားသည်။ အနည်းငယ် ထိန်းချုပ်မှု မှားယွင်းခြင်းသည် ခြစ်ရာများ သို့မဟုတ် မညီမညာ မျက်နှာပြင်များကို ဖြစ်ပေါ်စေပြီး ၎င်း၏ လုပ်ငန်းစဉ်ဝင်းဒိုးကို ကျဉ်းမြောင်းစေသည်။ ထို့အပြင် အလူမီနာသည် လျင်မြန်စွာ အနည်ထိုင်သွားပြီး ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှု ကုန်ကျစရိတ်များ မြင့်မားလာကာ လုပ်ငန်းစဉ် စီမံခန့်ခွဲမှုတွင် အခက်အခဲများ ပိုမိုများပြားလာစေသည်။ ကုန်ကျစရိတ်အရ အလူမီနာသည် တစ်ယူနစ်လျှင် စျေးသက်သာပြီး ရှားပါးမြေကြီးပစ္စည်းတစ်ခုအနေဖြင့် စီရီယမ်အောက်ဆိုဒ်သည် အနည်းငယ်ပိုစျေးကြီးသည်။ သို့သော် ဖန်ပြုပြင်ထုတ်လုပ်ရေးလုပ်ငန်းသည် စုစုပေါင်းပိုင်ဆိုင်မှုကုန်ကျစရိတ် (TCO)၊ ဆိုလိုသည်မှာ ထိရောက်မှု + ထွက်နှုန်း + စားသုံးမှု + လုပ်အား + ပြန်လည်ပြုပြင်မှုဆုံးရှုံးမှုများကို ပိုမိုအာရုံစိုက်သည်။ နောက်ဆုံးနိဂုံးချုပ်အနေဖြင့် အလူမီနာသည် စျေးသက်သာသော်လည်း ၎င်း၏ ခြစ်ရာနှင့် ပြန်လည်ပြုပြင်မှုနှုန်းမှာ ပိုမိုမြင့်မားသည်။ စီရီယမ်အောက်ဆိုဒ်သည် တစ်ယူနစ်လျှင် ပိုမိုစျေးကြီးသော်လည်း ၎င်းသည် ပိုမိုမြင့်မားသော စွမ်းဆောင်ရည်၊ ချို့ယွင်းချက်နည်းပါးမှုနှင့် ပိုမိုမြင့်မားသော ထွက်နှုန်းကို ပေးစွမ်းပြီး စုစုပေါင်းကုန်ကျစရိတ်ကို သိသိသာသာ လျော့နည်းစေသည်။ ထို့ကြောင့် မှန်ဘီလူးများ၊ စားသုံးသူအီလက်ထရွန်းနစ်ပစ္စည်းများနှင့် ဗိသုကာဖန်လုပ်ငန်းများသည် စီရီယမ်အောက်ဆိုဒ်ကို ၎င်းတို့၏ အဓိက ඔප දැමීමීමအဖြစ် ရွေးချယ်ကြသည်။
အသုံးချမှု အတိုင်းအတာအရ၊စီရီယမ်အောက်ဆိုဒ်မိုဘိုင်းဖုန်းအဖုံးမှန်၊ ကင်မရာမှန်ဘီလူးများ၊ မော်တော်ကားကင်မရာများ၊ လေဆာအလင်းတန်းအစိတ်အပိုင်းများ၊ မိုက်ခရိုစကုပ်ဆလိုက်များ၊ ကွာ့ဇ်မှန်၊ နီလာပြတင်းပေါက်များနှင့် ဗိသုကာမှန်များကို အသေးစိတ်ပွတ်တိုက်ခြင်းအပါအဝင် ပွင့်လင်းမြင်သာမှု၊ ညီညာမှုနှင့် အလင်းတန်းတောက်ပမှုလိုအပ်သော နယ်ပယ်အားလုံးနီးပါးတွင် လုံးဝအားသာချက်ရှိသည်။ ဆန့်ကျင်ဘက်အားဖြင့် အလူမီနာသည် မှုန်ဝါးသောသတ္တုများ၊ ကြွေထည်များ၊ သံမဏိ၊ မှိုများ၊ သတ္တုမှန်များနှင့် မြင့်မားသောဖြတ်တောက်မှုအားလိုအပ်သည့် နီလာကို ကြမ်းတမ်းစွာကြိတ်ခွဲခြင်းအတွက် သင့်လျော်သည်။ အတိုချုပ်ပြောရလျှင်- ပွင့်လင်းမြင်သာသောပစ္စည်းများအတွက် cerium oxide ကို ရွေးချယ်ပါ၊ မာကျောသောပစ္စည်းများအတွက် alumina ကို ရွေးချယ်ပါ။ မျက်နှာပြင်အရည်အသွေးအတွက် cerium oxide နှင့် ဖြတ်တောက်မှုအမြန်နှုန်းအတွက် alumina ကို ရွေးချယ်ပါ။
အလုံးစုံသော်၊ ၎င်း၏ထူးခြားသော CMP ယန္တရား၊ တည်ငြိမ်သောလုပ်ငန်းစဉ်ပြတင်းပေါက်၊ မြင့်မားသောစွမ်းဆောင်ရည်နှင့် အရည်အသွေးမြင့်မျက်နှာပြင်တို့ဖြင့် cerium oxide သည် ဖန်နှင့် မှန်ဘီလူးလုပ်ငန်းများတွင် အစားထိုးမရသော ඔප දැමීමပစ္စည်းတစ်ခု ဖြစ်လာခဲ့သည်။ အလူမီနာသည် ကုန်ကျစရိတ်နည်းပါးပြီး မာကျောမှုမြင့်မားသော်လည်း သတ္တုနှင့် ကြွေထည်များကဲ့သို့သော မာကျောမှုမြင့်မားသော၊ ပွင့်လင်းမြင်သာမှုမရှိသော ပစ္စည်းများကို ඔප දැමීමအတွက် ပိုမိုသင့်လျော်ပါသည်။ ပမာဏများပြားပြီး တည်ငြိမ်သော ထုတ်လုပ်မှုလိုင်းများနှင့် ချို့ယွင်းချက်နှုန်းနည်းပါးသော ကုမ္ပဏီများအတွက် အလူမီနာသည် ပွင့်လင်းမြင်သာသောဖန်၏ နောက်ဆုံး ඔප දැමීමလိုအပ်ချက်များအတွက် မလုံလောက်ဘဲ cerium oxide သည် အဆင့်မြင့်ထုတ်ကုန်မျက်နှာပြင်အပြီးသတ်ခြင်းအတွက် အကောင်းဆုံးဖြေရှင်းချက်ဖြစ်သည်။